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        设备与系统集成

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        真空装置

        正帆科技为泛半导体行业及科研单位设计和制造各类高真空及超高真空装置。结合正帆多年的洁净设备制造经验和丰富的客制化自控系统设计经验,能够为客户提供各类自动化控制的真空装置,包括常规或高洁净无颗粒真空装置,慢充慢抽装置等。

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